MEMSと積層セラミック技術を適用した微小化システムの研究開発

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dc.contributor.author 髙藤,美泉 ja
dc.date 2015-03-25 ja
dc.date.accessioned 2015-09-21T04:33:56Z
dc.date.available 2015-09-21T04:33:56Z
dc.date.created 2015-03-25 ja
dc.date.issued 2015-03-25 ja
dc.identifier.uri http://repository.nihon-u.ac.jp/xmlui/handle/11263/485
dc.language ja ja
dc.language.iso ja ja
dc.subject MEMS・NEMS ja
dc.subject MEMS・NEMS ja
dc.subject 積層セラミック技術 ja
dc.subject Multilayer Ceramic Technology ja
dc.subject フェライト ja
dc.subject Ferrite ja
dc.subject 小型発電機 ja
dc.subject Miniature Generator ja
dc.subject 小型アクチュエータ ja
dc.subject Miniature Actuator ja
dc.title MEMSと積層セラミック技術を適用した微小化システムの研究開発 ja
dc.title.alternative Research and Development of Miniaturized System by MEMS and Multilayer Ceramic Technology ja
dc.subject.nii Thesis or Dissertation ja
dc.description.degreename 博士(工学) ja
dc.description.grantor 日本大学 ja
dc.date.dateofgranted 2015-03-25 ja
dc.type.nii Thesis or Dissertation ja
dc.identifier.jalcdoi info:doi/10.15006/32665A4879 ja
dc.identifier.grantid 32665甲第4879号 ja
dc.textversion ETD ja


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